Предназначен для исследования поверхностного рельефа образца.
Требования к образцу:
- Твёрдый немагнитный материал
- Габариты 1х1х1 см.
- Верхняя и нижняя грани строго плоскопараллельны.
- Площадь сканирования до 30х30 мкм.
- Перепад высоты поверхностного рельефа на измеряемом участке до 1 мкм